中国首台国产光刻机交付

交付仪式上，合作芯片厂商代表难掩激动：“过去，我们不得不提前数年排队等待进口设备，如今国产光刻机的到来，不仅缩短了交付周期，更让我们在定制化需求上有了更多话语权。这种产业链的良性互动，正推动中国半导体产业形成...

比房子还大的光刻机，央视报道展示全球首台High—NA设备 光刻机到底有多大？央视的镜头一晃过去，很多人第一反应是，这是火箭吗？技术人员向记者介绍，这是最新一代High—NA极紫外光刻机，也是首次公开，一台设备得值4亿美元，...

除此之外，央视还报道了国内光刻机研发的进展，有一个好消息是8纳米浸没式就快要搞定，并在一些领域中，国产设备已经支撑起实际生产线运转；...在2024年2月，上海微电子装备公司就交付了首台2.5D/3D先进封装光刻机，同年8月《新...

5月23日，珠海恒格微电子装备有限公司（简称“恒格微电子”）发布国内首台晶圆级等离子多驱解离刻蚀设备，标志着国内高端...一个晶圆的前道工艺里，薄膜机、光刻机和刻蚀机是最为关键的三大设备，共同完成晶圆制造材料的制作。...

自从中国芯被美“卡脖”之后，光刻机就进入了大众视野之中。这个拥有数十万个精密零部件，比房子还要大，且造价需要数千万美元至数亿美元的大家伙，究竟有啥...可能有人好奇，央视展示这个大家伙，是因为国产光刻机迎来突破了吗？...

截止目前，ASML已向客户交付总共5台，包括Intel、三星。其重达180吨、体积如同双层巴士，堪称全球最昂贵的半导体制造设备之一。2023年12月，Intel率先拿下了全球首台High NA EUV光刻机 【本文结束】如需转载请务必注明出处：快...

“中国永远都造不出光刻机？去年，中国物理学教授朱士尧在一次...如今在我国科研人员的努力下，已经造出光刻机了，而且还不止一种型号，例如2024年10月，上海微电子交付的首台国产28nm光刻机，还有中科院突破的22nm新型光刻机。...

中国有能力生产可大规模制造28纳米及以下制程芯片的深紫外光刻机。中国芯片制造设备正日趋成熟，华为及其合作伙伴正利用激光直接成像（LDP）技术生产可制造5纳米及更小制程芯片的极紫外光刻机。

说中国永远都造不出光刻机这样的话属实有一些绝对了，想当年我们国家还...如今在我国科研人员的努力下，已经造出光刻机了，而且还不止一种型号，例如2024年10月，上海微电子交付的首台国产28nm光刻机，还有中科院突破的22nm新型...

离子注入机是芯片制造三大关键装备之一，开发难度仅次于光刻机，其中低能...自2020年开始向国内头部12英寸产线交付首台设备以来，凯世通坚持自主研发、原创设计，实现关键部件国产化，攻克了电性能关键工艺及28纳米工艺全覆盖，并...