90nm光刻机才投产

报道中还引用了美国科技分析师的原话：“目前，中国确实在研究如何利用好诸如7nm这样的技术节点，这是在没有极紫外光刻机设备的情况下所能达到的最先进制程，并想办法将其规模化量产，中国已经在某些领域成功实现了这一点，...

电子束光刻机将用于芯片量产？虽然，ASML没有看到用电子束技术生产芯片有任何好处，因为ASML的EUV光刻机正在大型芯片工厂中运行。不过，ASML对于Mapper的技术和专利知识很感兴趣。因为该技术不仅可以用来生产芯片，还可以用...

到了2024年，上海微电子已经能造出65nm分辨率的ArF光刻机，还申请了EUV光源专利。中科院更牛，用405nm激光实现了5nm线宽，直接绕过了EUV的技术壁垒。这些突破就像多米诺骨牌，带动了波长光电、腾景科技等产业链上下游企业的...

近日，英特尔宣布正式投产的两台High NA EUV光刻机，才是真正意义上的天价设备。每台High NA EUV光刻...这种光刻机能够支持2nm以下的晶圆制造，每小时可曝光的晶圆数量超过185片，这使得英特尔在一个季度内就能生产30000片晶圆。...

比如，中国上海微电子装备集团（SMEE）已经能稳定生产90nm光刻机，28nm的设备也正在测试。这水平放在现在来看确实差一大截，但放在十年前，是连个轮廓都没有的事。更关键的是，我们的供应链也在“拆零重构”。激光光源、反射镜...

那时候如果咱们能继续加大资源投入，保持这个研发节奏，到了90年代，中国的光刻机技术很有可能就站在世界之巅了。不过现实却给了咱们...最近国产光刻机的分辨率已经达到了65nm，套刻精度小于8nm，距离浸润式DUV光刻机仅一步之遥。...

90nm制程成熟：国产光刻机已实现90nm节点全流程国产化，设备成本较进口产品低30%。28nm产业链整合：中芯国际、华虹半导体等晶圆厂与国产设备厂商深度合作，通过产线验证优化设备性能，加速28nm设备导入。行业整合加速 北方华创...

上海微电子SSX600系列光刻机已实现90nm制程，在封装测试领域获得市场认可。其双工件台技术突破运动控制算法，定位精度达到国际主流水平。光源领域，科益虹源研制的准分子激光器通过02专项验收，输出功率稳定性达国际先进标准。...

国产前道制造光刻机已实现90nm工艺芯片的量产，高端光刻机方面仍处于研发阶段，尚未实现大规模量产。阿斯麦曾在2024年10月警告称，中国市场的销售额将降至其净系统销售额的20%，而2025年一季度，阿斯麦来自中国大陆的净系统...

光刻机，上海微电子的28nm光刻机都开始用了，ASML还在中国市场占着大头。咱把光刻机市场分了好几档：40nm的随便卖；24nm的限量；12nm的国产优先；至于EUV，就吊着ASML的胃口！你ASML不是不卖我EUV吗？行！我就把中低端市场让给...